Anodic bonding method for adhesion enhancement of conducting films to dielectric substrates
- 1 — Ph.D., Dr.Sci. professor Saint Petersburg State Mining Institute (Technical University)
- 2 — Ph.D. associate professor Saint Petersburg State Mining Institute (Technical University)
Abstract
The appearance of great pulling electric fields at anodic bonding process with a conductor surface to ionic dielectric turns out to be possible due to the interlayer polarization developing in dielectric under the action of electric voltage. This results in a negative charge accumulation in a layer of small thickness beside anode. Thus applied electric voltage is distributed not through the whole thickness of a dielectric, but in fact is applied to a narrow area of the three-dimensional charge beside anode. Arising strong electric fields force the connected materials to unite. In the present work it is shown that use of the discussed technology allows to increase considerably adhesion of conducting films to dielectric substrates both in the process of their deposition and after it.
References
- Акустостимулированные процессы в Si(Li)-p-i-n детекторах / А.Г.Гаибов, Б.Н.Заверюхин, В.Д.Кревчик, Р.А.Муминов, О.Нигманов, А.Г.Шамагдиев // Письма в ЖТФ. 1984. Т.10. № 10. С.616-620.
- Головяшкин А.Н. Исследование акустостимулированной компенсации остаточной примеси для улучшения характеристик полупроводниковых детекторов / А.Н.Головяшкин, В.Д.Кревчик // Датчики систем измерения, контроля и управления. Пенза, 1999. Вып.19. С.37-38.
- Дерягин Б.В. Адгезия твердых тел / Б.В.Дерягин, Н.А.Кротова, В.П.Смилга. М., 1973. 280 с.
- Жабреев В.А. Адгезионное упрочнение покрытий металл – стекло / В.А.Жабрев, В.А.Мошников, Н.С.Пщелко, В.В.Томаев // Температуроустойчивые функциональные покрытия: Труды 18-го совещания по температуроустойчивым функционапьным покрытиям. Тула, 2001. Ч.1. С.182-187.
- Заверюхин Б.Н. О температурных интервалах применения Si(Li)-p-i-n детекторов / Б.Н.Заверюхин, В.Д.Кревчик, Р.А.Муминов, Х.Х.Исмаилов, А.Г.Шамагдиев // Атомная энергия. 1984. Т.57. С.207-208.
- Заверюхин Б.Н. Особенности ультразвукового воздействия на детекторы с неравномерным распределением электрического поля / Б.Н.Заверюхин, В.Д.Кревчик, Р.А.Муминов, Х.Х.Исмаилов, А.Г.Шамагдиев // Физика и техника полупроводников. 1986. Т.20. С.525-528.
- Озолс А.Р. Физические основы, расчет и применение необратимого электроадгезионного соединения твердых тел / А.Р.Озолс, Н.С.Пщелко, В.Н.Таиров. Рига, 1989. Ч.1. 46 с. Ч.2. 59 с. Ч.3. 60 с.
- Пщелко Н.С. Влияние шероховатости поверхностей электроадгезионного контакта на его силовые характеристики / Н.С.Пщелко, Т.В.Стоянова // Цветные металлы. 2008. № 5. С.51-57.
- Пщелко Н.С. Поляризация приповерхностных слоев ионных диэлектриков на границе электроадгезионного контакта с проводником // Нанострутктурированные металлы и материалы (Цветные металлы). 2005. № 9. С.44-50.
- Таиров В.Н. Модель электроадгезионного соединения ионный диэлектрик – металл / В.Н.Таиров, В.А.Приходченко, Н.С.Пщелко // 10-й Всесоюз. симпозиум по механоэмиссии и механохимии твердых тел: Тезисы докладов. М., 1986. С.62.
- Belyaev A.E., Venger E.F., Ermolovich I.B., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Milenin V.V., Prokopenko I.V., Svechnikov G.S., Soloviev E.A., Fedorenko L.L. Effect of microwave and laser radiations on the parameters of semi-conductor structures. Kiev, 2002. P.138-148.
- Syrkov A.G. Methods of physics and chemistry in nanotribology and obtaining of nanostructured metallic materials // Non-ferrous Metals and Materials. 2006. № 4. P.11-17.