Газочувствительный микросенсор
Об авторах
- 1 — Московский университет леса
- 2 — Московский университет леса
Аннотация
Предлагаемый полупроводниковый микросенсорный элемент для непрерывного и оперативного контроля состояния газовой среды в качестве основы включает полупроводниковую оксидную пленку, получаемую магнетронным методом на установке УВН-71. Разработанная технология обеспечивает рост пленки до 0,8 мкм с последующей термообработкой при одновременном контроле ее сопротивления. Испытания в лаборатории позволили выявить высокие газовую чувствительность элемента и его быстродействие, а также особенности работы сенсора в статическом и динамическом режимах. Импульсный режим работы сенсора предпочтителен с точки зрения его долговечности и точности измерений.
Область исследования:
(Архив) Экологический мониторинг и безопасность окружающей среды
Финансирование:
Отсутствует
Похожие статьи
Повышение эффективности управления природопользованием при разработке месторождений полезных ископаемых
2001 Н. Я. Лобанов, Е. А. Куклина, М. А. Невская
Оптимизация трофических цепей в лесах
2001 М. М. Котов, А. Н. Соболев, Ю. В. Романова, Ю. Н. Гагарин, С. М. Лазарева, А. Н. Шургин, Л. В. Суханова
Влияние водны попуска Чебоксарской ГЭС на гидрологические режимы Волги и устьевых участков ее притоков
2001 А. Г. Турлов