Некоторые особенности морфологии кристаллов кремния, выращенных по методу Чохральского
Аннотация
В промышленном производстве полупроводникового кремния внешней форме монокристаллов уделяется большое внимание. Установлено, что непосредственно в процессе выращивания из расплава по некоторым особенностям формы кристаллов мокко составить представление об их внутреннем строении, в том числе о дислокационной структуре ....
Литература
- Антонов П.И., Григорьев Н.С., Вахмянин Л.П Фотогоннография профилированных кристаллов германия. Изв. АН СССР. Серия физическая, 1972, т, 34, № 3.
- Бевэ В.Е., Осовский М.И., Фальковкч Э.С. Влияние условий роста на внешнюю форму монокристаллов. В кн.: Рост кристаллов. Т. 10. М., „Наука", 1974.
- Бузынин А.Н., Блецхан Н.И., Шефталь Н.Н. Образование дислокаций в кристаллах кремния. В кн.: Проблемы кристаллологии. Изд-во МГУ, 1976.
- Любалин М.Д. Фотогониометрия кристаллов германия, выращенных по методу Чохральского. Зап. ЛГИ, 1968, т. 54, вып. 2.
- Любалин М.Д., Мокиевский В. А. Форма кристаллов германия, полученных но Чохральскому. "Кристаллография", 1968, т. 13, № 4.
- Любалин М.Д. Морфология кристаллов, вытягиваемых из расплавов. В кн.: Рост кристаллов. Т. 9. М., „Наука", 1972.
- Особенности внешнего вида бездислокационных монокристаллов кремния. В кн.: Рост кристаллов. Т. 9. М., „Наука", 1972. Авт.: Э.С.Фалькевич, Н.И.Блецкан, К.И.Неймарк, М.И.Осовский.
- Строителев С.А., Камарали В.В., Муравицкий С.А. Форма роста бездяслокациокных монокристаллов кремния, выращенных методом бестигельной зонной плавки. В кн.: Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок. Ч.2. Новосибирск, „Наука", 1975.
- Шафpановский И.И. Внешняя симметрия рояльных кристаллов и симметрия питающей среды. Зап. ВМО, 1954, ч. 83, вып. 3.
- Шашков Ю.М., Шущлебина И.Я. Причины появления примесных полос при выращивании монокристаллов кремния. В кн.: Материалы I Coвещания по получению полупроводниковых монокристаллов способом Степанова и перспективам их применения в приборостроении. Л., Изд-во АН СССР, 1968.