Подать статью
Стать рецензентом
Том 74 Вып. 2
Страницы:
56-63
Скачать том:
RUS
Научная статья

Об ориентационной зависимости эффективных коэффициентов распределения примесей

Авторы:
М. Д. Любалин
В. Н. Третьяков
В. А. Мокиевский
Дата отправки:
1976-08-16
Дата принятия:
1976-10-05
Дата публикации:
1977-02-01

Аннотация

Знание ориентационной зависимости эффективных коэффициентов распреде­ления примеси КЭф между твердой и жидкой фазами при росте кристаллов из расплава необходимо для правильного проведения легирования с целью полу­чения полупроводниковых кристаллов с заданными свойствам ...

Область исследования:
(Архив) Без раздела
Финансирование:

Отсутствует

Перейти к тому 74

Литература

  1. Баранский П.И., Марин К.Г. Исследование факторов, влияющих на однородность, удельного сопротивления кристаллов германия, выращиваемых Из расплава. В кн.: Рост кристаллов» Т.6. М., „Наука", 1965.
  2. Воронков В.В. Коэффициент захвата примеси из расплава как функция скорости роста и угла наклона ступенчатой поверхности. В кн.: IV Всесоюзное совещание по росту кристаллов. Выращивание кристаллов и их структура, ч. 2. Ереван. Изд-во АН АрмССР, 1972.
  3. Воронков В.В. Переохлаждение на грани, возникающей на округлом фронте кристаллизации. „ Кристаллография", 1972, т. 37, № 5.
  4. Воронков В.В. Влияние примеси на скорость слоистого роста из расплава. "Кристаллография", 1974, т. 19, № 3.
  5. Евзикова Н.З. Принципы структурно-геометрического анализа граней кристаллов. Зап. ВМО, 1965, ч. 94, вып. 2.
  6. Любалин М.Д., Мокиевский В.А. Морфологическое исследование кристаллов германия, полученных по Чохральскому. В кн.: Материалы I Совещания по получению полупроводниковых монокристаллов способом Степанова и перспективам их применения в приборостроении. Л., изд. ФТН АН СССР, 1968.
  7. Любалин М.Д., Мокиевский В.А. Форма кристаллов германия, выращенных по Чохральскому. „ Кристаллография" 1968, т. 13, № 4.
  8. Любалин М.Д. Монология кристаллов германия, выращенных по методу Чохральского. Автореф. на соиск. учен. степ. канд. минерал, наук. Л., 1969 (Лен. горный ин-т им. В.Г. Плеханова).
  9. Любалин М.Д. Кинетическая обусловленность эффективных коэффициентов распределения примесей при выращивании кристаллов из расплавов. В кн.: Третья Всесоюзная конференция по физике—химическим основам легирования полупроводниковых материалов (тезисы докладов). М., изд. ИМЕГ АН СССР, 1975.
  10. Распределение сурьмы в монокристаллах германия в зависимости от кристаллографического направления вытягивания и глубины легирования. Изв. АН СССР, Неорганические материалы, 1970, т. 12, № 7. Авт.: М.Д.Любалин, В.Н.Третьяков, В.А.Кузнецов, Ю.М.Смирнов.
  11. Таршис Л.А., Тиллер В.А. Влияние кинетики присоединения частиц к кристаллу на морфологическую устойчивость поверхности раздела фаз при кристаллизации расплава., В кн.: Проблемы роста кристаллов. М., "Мир", 1968.
  12. Третьяков В.Н., Кассациер Э.Л. Ориентированная резка кристаллов. В кн.: Новые исследования в геологии. Изд. ЛГИ, 1975, вып. 5.
  13. Шафрановский И.И. Лекции по кристалломорфологии минералов. Изд. 2-е. М., "Высшая школа", 1968.
  14. Аbе Такао. Journ. Crist. Growth, v.24/25, 1974.
  15. Вurtоn J.A., Prim R.C., Slichter W.P. Journ. Chem. Pbys., v.21, № 11, 1953, p.1987-1991.
  16. Вriсe J.C., Whiffin F.A.C. Solid-State Electronics, v.7. H 2, 1964, p.183-187.
  17. Hall R.H. Journ. Phys. Chem., v.57, № 8, 1953, p.836-839.

Похожие статьи

Природа оптической ориентировки кристаллов льда в лещиновом покрове континентальной Антарктиды
1977 В. Г. Портнов
Некоторые особенности морфологии кристаллов кремния, выращенных по методу Чохральского
1977 М. Д. Любалин, А. И. Погодин
Анализ дефектности кристаллов кварца
1977 Т. А. Карякина
Формы двойников с входящими углами
1977 В. А. Мокиевский, Алия А.Махмуд
О номенклатуре простых форм кубической сингонии
1977 Е. В. Нефедова, И. И. Шафрановский
Исследование структуры и эпитаксиальной связи наращиваемого слоя на поверхности монокристалла меди при диффузии элементов извне
1977 П. И. Игнатенко, Н. Л. Журавлев