Подать статью
Стать рецензентом
Том 74 № 2
Страницы:
56
Скачать том:
RUS

Об ориентационной зависимости эффективных коэффициентов распределения примесей

Авторы:
М. Д. Любалин
В. Н. Третьяков
В. А. Мокиевский
Дата отправки:
1976-08-16
Дата принятия:
1976-10-05
Дата публикации:
1977-02-01

Аннотация

Знание ориентационной зависимости эффективных коэффициентов распреде­ления примеси К Эф между твердой и жидкой фазами при росте кристаллов из расплава необходимо для правильного проведения легирования с целью полу­чения полупроводниковых кристаллов с заданными свойствам ...

Перейти к тому 74

Литература

  1. Баранский П.И., Марин К.Г. Исследование факторов, влияющих на однородность, удельного сопротивления кристаллов германия, выращиваемых Из расплава. В кн.: Рост кристаллов» Т.6. М., „Наука", 1965.
  2. Воронков В.В. Коэффициент захвата примеси из расплава как функция скорости роста и угла наклона ступенчатой поверхности. В кн.: IV Всесоюзное совещание по росту кристаллов. Выращивание кристаллов и их структура, ч. 2. Ереван. Изд-во АН АрмССР, 1972.
  3. Воронков В.В. Переохлаждение на грани, возникающей на округлом фронте кристаллизации. „ Кристаллография", 1972, т. 37, № 5.
  4. Воронков В.В. Влияние примеси на скорость слоистого роста из расплава. "Кристаллография", 1974, т. 19, № 3.
  5. Евзикова Н.З. Принципы структурно-геометрического анализа граней кристаллов. Зап. ВМО, 1965, ч. 94, вып. 2.
  6. Любалин М.Д., Мокиевский В.А. Морфологическое исследование кристаллов германия, полученных по Чохральскому. В кн.: Материалы I Совещания по получению полупроводниковых монокристаллов способом Степанова и перспективам их применения в приборостроении. Л., изд. ФТН АН СССР, 1968.
  7. Любалин М.Д., Мокиевский В.А. Форма кристаллов германия, выращенных по Чохральскому. „ Кристаллография" 1968, т. 13, № 4.
  8. Любалин М.Д. Монология кристаллов германия, выращенных по методу Чохральского. Автореф. на соиск. учен. степ. канд. минерал, наук. Л., 1969 (Лен. горный ин-т им. В.Г. Плеханова).
  9. Любалин М.Д. Кинетическая обусловленность эффективных коэффициентов распределения примесей при выращивании кристаллов из расплавов. В кн.: Третья Всесоюзная конференция по физике—химическим основам легирования полупроводниковых материалов (тезисы докладов). М., изд. ИМЕГ АН СССР, 1975.
  10. Распределение сурьмы в монокристаллах германия в зависимости от кристаллографического направления вытягивания и глубины легирования. Изв. АН СССР, Неорганические материалы, 1970, т. 12, № 7. Авт.: М.Д.Любалин, В.Н.Третьяков, В.А.Кузнецов, Ю.М.Смирнов.
  11. Таршис Л.А., Тиллер В.А. Влияние кинетики присоединения частиц к кристаллу на морфологическую устойчивость поверхности раздела фаз при кристаллизации расплава., В кн.: Проблемы роста кристаллов. М., "Мир", 1968.
  12. Третьяков В.Н., Кассациер Э.Л. Ориентированная резка кристаллов. В кн.: Новые исследования в геологии. Изд. ЛГИ, 1975, вып. 5.
  13. Шафрановский И.И. Лекции по кристалломорфологии минералов. Изд. 2-е. М., "Высшая школа", 1968.
  14. Аbе Такао. Journ. Crist. Growth, v.24/25, 1974.
  15. Вurtоn J.A., Prim R.C., Slichter W.P. Journ. Chem. Pbys., v.21, № 11, 1953, p.1987-1991.
  16. Вriсe J.C., Whiffin F.A.C. Solid-State Electronics, v.7. H 2, 1964, p.183-187.
  17. Hall R.H. Journ. Phys. Chem., v.57, № 8, 1953, p.836-839.

Похожие статьи

Особенности строения и процессы метаморфизма ледяных пород Антарктиды близ станции Мирный
1977 Ю. М. Чащинов
Исследование структуры и эпитаксиальной связи наращиваемого слоя на поверхности монокристалла меди при диффузии элементов извне
1977 П. И. Игнатенко, Н. Л. Журавлев
Анализ дефектности кристаллов кварца
1977 Т. А. Карякина
Образование двойников цинкита с симметрией 6/m’mm и влияние двойниковых границ на скорость роста граней
1977 В. П. Гурылев, В. А. Мокиевский
Симметрия и морфология кристаллов при изгибе
1977 В А. Мокиевский, В. П. Фанаилова
О морфологии одного образца германия из музея ЛГИ
1977 М. Д. Любалин, Е. П. Дудник, А. С. Кузнецов