Об ориентационной зависимости эффективных коэффициентов распределения примесей
Abstract
Знание ориентационной зависимости эффективных коэффициентов распределения примеси К Эф между твердой и жидкой фазами при росте кристаллов из расплава необходимо для правильного проведения легирования с целью получения полупроводниковых кристаллов с заданными свойствам ...
References
- Баранский П.И., Марин К.Г. Исследование факторов, влияющих на однородность, удельного сопротивления кристаллов германия, выращиваемых Из расплава. В кн.: Рост кристаллов» Т.6. М., „Наука", 1965.
- Воронков В.В. Коэффициент захвата примеси из расплава как функция скорости роста и угла наклона ступенчатой поверхности. В кн.: IV Всесоюзное совещание по росту кристаллов. Выращивание кристаллов и их структура, ч. 2. Ереван. Изд-во АН АрмССР, 1972.
- Воронков В.В. Переохлаждение на грани, возникающей на округлом фронте кристаллизации. „ Кристаллография", 1972, т. 37, № 5.
- Воронков В.В. Влияние примеси на скорость слоистого роста из расплава. "Кристаллография", 1974, т. 19, № 3.
- Евзикова Н.З. Принципы структурно-геометрического анализа граней кристаллов. Зап. ВМО, 1965, ч. 94, вып. 2.
- Любалин М.Д., Мокиевский В.А. Морфологическое исследование кристаллов германия, полученных по Чохральскому. В кн.: Материалы I Совещания по получению полупроводниковых монокристаллов способом Степанова и перспективам их применения в приборостроении. Л., изд. ФТН АН СССР, 1968.
- Любалин М.Д., Мокиевский В.А. Форма кристаллов германия, выращенных по Чохральскому. „ Кристаллография" 1968, т. 13, № 4.
- Любалин М.Д. Монология кристаллов германия, выращенных по методу Чохральского. Автореф. на соиск. учен. степ. канд. минерал, наук. Л., 1969 (Лен. горный ин-т им. В.Г. Плеханова).
- Любалин М.Д. Кинетическая обусловленность эффективных коэффициентов распределения примесей при выращивании кристаллов из расплавов. В кн.: Третья Всесоюзная конференция по физике—химическим основам легирования полупроводниковых материалов (тезисы докладов). М., изд. ИМЕГ АН СССР, 1975.
- Распределение сурьмы в монокристаллах германия в зависимости от кристаллографического направления вытягивания и глубины легирования. Изв. АН СССР, Неорганические материалы, 1970, т. 12, № 7. Авт.: М.Д.Любалин, В.Н.Третьяков, В.А.Кузнецов, Ю.М.Смирнов.
- Таршис Л.А., Тиллер В.А. Влияние кинетики присоединения частиц к кристаллу на морфологическую устойчивость поверхности раздела фаз при кристаллизации расплава., В кн.: Проблемы роста кристаллов. М., "Мир", 1968.
- Третьяков В.Н., Кассациер Э.Л. Ориентированная резка кристаллов. В кн.: Новые исследования в геологии. Изд. ЛГИ, 1975, вып. 5.
- Шафрановский И.И. Лекции по кристалломорфологии минералов. Изд. 2-е. М., "Высшая школа", 1968.
- Аbе Такао. Journ. Crist. Growth, v.24/25, 1974.
- Вurtоn J.A., Prim R.C., Slichter W.P. Journ. Chem. Pbys., v.21, № 11, 1953, p.1987-1991.
- Вriсe J.C., Whiffin F.A.C. Solid-State Electronics, v.7. H 2, 1964, p.183-187.
- Hall R.H. Journ. Phys. Chem., v.57, № 8, 1953, p.836-839.
Similar articles
Образование двойников цинкита с симметрией 6/m’mm и влияние двойниковых границ на скорость роста граней
1977 V. P. Gurylev, V. A. Mokievskii
Некоторые особенности морфологии кристаллов кремния, выращенных по методу Чохральского
1977 M. D. Lyubalin, A. I. Pogodin
Исследование структуры и эпитаксиальной связи наращиваемого слоя на поверхности монокристалла меди при диффузии элементов извне
1977 P. I. Ignatenko, N. L. Zhuravlev