Метод измерения анизотропной функции распределения электронов по скоростям
Об авторах
- 1 — Санкт-Петербургский государственный горный университет
- 2 — Санкт-Петербургский государственный горный университет
Аннотация
Разработан метод локальной диагностики анизотропной плазмы. Представлен математический аппарат метода экспресс-анализа степени анизотропии функции распределения электронов как основной характеристики анизотропной плазмы. Показано, что степень анизотропии плазмы может быть определена только по виду кривой производной зондового тока по потенциалу зонда). Проиллюстрированы возможности метода по восстановлению полной функции распределения электронов.
Литература
- Каган Ю.М. Зондовые методы исследования плазмы / Ю.М.Каган, В.И.Перель // Успехи физических наук. 1963. Т.81.
- Лапшин В.Ф. Метод плоского одностороннего зонда для диагностики анизотропной плазмы / В.Ф.Лапшин, А.С.Мустафаев // Журнал технической физики. 1989. Т.59. № 2.
- Федоров В.Л. К вопросу об определении ФРЭ по скоростям в аксиально-симметричной плазме / В.Л.Федоров, А.П.Мезенцев // Журнал технической физики. 1987. Т.57. № 3.
- Godyak V.A. Plasma-Surface interaction and processing of materials. Deventer: Kluwer, 1990.
- Demidov V.I., Kolokolov N.B., Kudryavtsev A.A. Probe methods for low-temperature plasma investigation. Moscow, 1996.
- Pfau S., Tichy M. Low temperature plasmas: fundamentals, technologies and techniques / Ed. by R.Hippler. Berlin, 2008.
- Lieberman M. Plasma processing for nanoelectronics // 63rd gaseous electronics conference & 7th international conference on reactive plasmas: Contr. Pap., 2010. Paris, France, 2010. Vol.55. N 37.
Похожие статьи
Об одном алгоритме численного решения нелинейных краевых задач геомеханики
2012 А. П. Господариков, М. А. Зацепин, А. В. Мелешко
Программное обеспечение для контроля параметров емкостных структур на основе использования силового действия электростатического поля
2012 Т. Р. Акчурин, Н. С. Пщелко, В. В. Буевич
Районирование муниципального образования по комплексу показателей благоустроенности
2012 В. А. Киселев, О. А. Трибуц