Метод измерения анизотропной функции распределения электронов по скоростям
Об авторах
- 1 — д-р физ.-мат. наук профессор Санкт-Петербургский государственный горный университет
- 2 — аспирант Санкт-Петербургский государственный горный университет
Аннотация
Разработан метод локальной диагностики анизотропной плазмы. Представлен математический аппарат метода экспресс-анализа степени анизотропии функции распределения электронов как основной характеристики анизотропной плазмы. Показано, что степень анизотропии плазмы может быть определена только по виду кривой производной зондового тока по потенциалу зонда). Проиллюстрированы возможности метода по восстановлению полной функции распределения электронов.
Область исследования:
(Архив) Нанотехнологии и информационные технологии
Ключевые слова:
наноэлектроника
функция распределения электронов
анизотропная плазма
степень анизотропии
Литература
- Каган Ю.М. Зондовые методы исследования плазмы / Ю.М.Каган, В.И.Перель // Успехи физических наук. 1963. Т.81.
- Лапшин В.Ф. Метод плоского одностороннего зонда для диагностики анизотропной плазмы / В.Ф.Лапшин, А.С.Мустафаев // Журнал технической физики. 1989. Т.59. № 2.
- Федоров В.Л. К вопросу об определении ФРЭ по скоростям в аксиально-симметричной плазме / В.Л.Федоров, А.П.Мезенцев // Журнал технической физики. 1987. Т.57. № 3.
- Godyak V.A. Plasma-Surface interaction and processing of materials. Deventer: Kluwer, 1990.
- Demidov V.I., Kolokolov N.B., Kudryavtsev A.A. Probe methods for low-temperature plasma investigation. Moscow, 1996.
- Pfau S., Tichy M. Low temperature plasmas: fundamentals, technologies and techniques / Ed. by R.Hippler. Berlin, 2008.
- Lieberman M. Plasma processing for nanoelectronics // 63rd gaseous electronics conference & 7th international conference on reactive plasmas: Contr. Pap., 2010. Paris, France, 2010. Vol.55. N 37.