Повышение газовой чувствительности к водороду пленок Sn02 при их легировании палладием
Об авторах
- 1 — Воронежский технический университет
- 2 — Воронежский технический университет
- 3 — Воронежский технический университет
- 4 — Воронежский университет
Аннотация
Чувствительность и эффективность работы сенсорных датчиков в газоанализаторах с использованием диоксида олова, действующих на принципе модуляции приповерхностной области пространственного заряда и изменений электросопротивления пленки при адсорбции молекул газов, в значительной мере зависит от размеров зерен и наличия примесей благородных металлов. Исследования влияния примесей, проведенные в лабораторных условиях, позволили установить зависимость снижения поверхностного сопротивления пленок от температуры и механизм данного явления.
Литература
- Бутурлин А.И. Полупроводниковые датчики на основе металлооксидных полупроводников / А.И.Бутурлин, Г.А.Габузян, Н.А.Голованов и др. // Зарубежная электронная техника 1983. № 10.
- Papadopoulos С.Л., Avaritsiolis J.N. A model for the gas sensing proporties of tin oxide thin films with surface catalysts // Sensors and Actuators. 1995. Vol. 28.
- Watson J. Ihokura K. The tin dioxide gas sensor 11 G.S.V Coles. Meas. Sci. Technol. 1993. № 4.
- Matsushima S., Teraoka Y., Miura N. And Yamazoe N. Electronic Interaction between Metal Additives and Tin Dioxide in Tin Dioxide-Based Gas Sensors // Appl. Phys. 1988. Vol.27.
Похожие статьи
Использование поляризационных измерений для зондирования лесных покровов земли
2001 В. П. Якубов, Е. Д. Тельпуховский, В. В. Ручкин, В. Н. Падусенко
Гидрологическая оценка периодов водности бассейна Волги и Каспийского моря на основе космического и локального наземного мониторинга
2001 И. В. Кораблев, В. И. Найденов, А. А. Феоктистов
Геодинамические и другие природные факторы экологического состояния геологической среды России
2001 А. А. Смыслов, А. Г. Марченко, Л. В. Кулачков, Е. А. Боталова, А. Я. Тутакова, В. В. Алехина, И. А. Баранаускайте