Повышение газовой чувствительности к водороду пленок Sn02 при их легировании палладием

С. И. Рембеза; Т. В. Свистова; О. И. Борсякова; Е. С. Рембеза

Том 149 Вып. 5

Страницы:

109-111

Скачать том:

RUS

Научная статья

Повышение газовой чувствительности к водороду пленок Sn02 при их легировании палладием

Авторы:

С. И. Рембеза¹

Т. В. Свистова²

О. И. Борсякова³

Е. С. Рембеза⁴

Об авторах

1 — Воронежский технический университет
2 — Воронежский технический университет
3 — Воронежский технический университет
4 — Воронежский университет

Дата отправки:

2000-10-24

Дата принятия:

2000-11-22

Дата публикации:

2001-12-28

Аннотация

Чувствительность и эффективность работы сенсорных датчиков в газоанализаторах с использованием диоксида олова, действующих на принципе модуляции приповерхностной области пространственного заряда и изменений электросопротивления пленки при адсорбции молекул газов, в значительной мере зависит от размеров зерен и наличия примесей благородных металлов. Исследования влияния примесей, проведенные в лабораторных условиях, позволили установить зависимость снижения поверхностного сопротивления пленок от температуры и механизм данного явления.

Область исследования:

(Архив) Экологический мониторинг и безопасность окружающей среды

Литература

Бутурлин А.И. Полупроводниковые датчики на основе металлооксидных полупроводников / А.И.Бутурлин, Г.А.Габузян, Н.А.Голованов и др. // Зарубежная электронная техника 1983. № 10.
Papadopoulos С.Л., Avaritsiolis J.N. A model for the gas sensing proporties of tin oxide thin films with surface catalysts // Sensors and Actuators. 1995. Vol. 28.
Watson J. Ihokura K. The tin dioxide gas sensor 11 G.S.V Coles. Meas. Sci. Technol. 1993. № 4.
Matsushima S., Teraoka Y., Miura N. And Yamazoe N. Electronic Interaction between Metal Additives and Tin Dioxide in Tin Dioxide-Based Gas Sensors // Appl. Phys. 1988. Vol.27.

Повышение газовой чувствительности к водороду пленок Sn02 при их легировании палладием

Аннотация

Литература

Похожие статьи