Повышение газовой чувствительности к водороду пленок Sn02 при их легировании палладием
Об авторах
- 1 — Воронежский технический университет
- 2 — Воронежский технический университет
- 3 — Воронежский технический университет
- 4 — Воронежский университет
Аннотация
Чувствительность и эффективность работы сенсорных датчиков в газоанализаторах с использованием диоксида олова, действующих на принципе модуляции приповерхностной области пространственного заряда и изменений электросопротивления пленки при адсорбции молекул газов, в значительной мере зависит от размеров зерен и наличия примесей благородных металлов. Исследования влияния примесей, проведенные в лабораторных условиях, позволили установить зависимость снижения поверхностного сопротивления пленок от температуры и механизм данного явления.
Литература
- Бутурлин А.И. Полупроводниковые датчики на основе металлооксидных полупроводников / А.И.Бутурлин, Г.А.Габузян, Н.А.Голованов и др. // Зарубежная электронная техника 1983. № 10.
- Papadopoulos С.Л., Avaritsiolis J.N. A model for the gas sensing proporties of tin oxide thin films with surface catalysts // Sensors and Actuators. 1995. Vol. 28.
- Watson J. Ihokura K. The tin dioxide gas sensor 11 G.S.V Coles. Meas. Sci. Technol. 1993. № 4.
- Matsushima S., Teraoka Y., Miura N. And Yamazoe N. Electronic Interaction between Metal Additives and Tin Dioxide in Tin Dioxide-Based Gas Sensors // Appl. Phys. 1988. Vol.27.
Похожие статьи
Утилизация промышленных отходов, содержащих хлорид кальция
2001 М. А. Гусейнов, З. М. Алиев, А. М. Гаджиева
Теоретическая модель количественной оценки динамики развития экосистем с использованием временных рядов спутниковых данных дистанционного зондирования
2001 В. А. Головко, Т. В. Кондранин
Разработка технологий изготовления сорбентов и фильтров на их основе для радиохимического анализа и очистки питьевых, а также сточных вод от радионуклидов
2001 Н. Д. Бетенков, А. В. Воронина, А. С. Кутергин, Т. А. Недобух, Ю. Е. Гилева