Non-destructive strength testing of anodic bonding conductor-to ionic dielectric seals

N. S. Pshchelko

Vol 189

Pages:

264-267

Download volume:

RUS

Basic research in natural sciences

Non-destructive strength testing of anodic bonding conductor-to ionic dielectric seals

Authors:

N. S. Pshchelko

About authors

Saint Petersburg State Mining Institute (Technical University)

Date submitted:

2010-07-05

Date accepted:

2010-09-10

Date published:

2011-03-21

Abstract

Physical processes that lead to the emergence of large forces of attraction between bodies, joined by anodic bonding technology result from the large electric fields strengths at the ontact interface. Nondestructive method of monitoring the strength of obtained conductor-to ionic di- electric anodic bonding seals is based on the relationship between the dependence of current versus time flowing in the formation of seals and the strength of the resulting seals. Theoreti cally justified a new technological method for manufacturing of high-quality anodic bonding seals. The results obtained are confirmed experimentally.

Пщелко Н.С. Неразрушающий контроль прочности электроадгезионных соединений проводник – ионный диэлектрик // Записки Горного института. 2011. Т. 189 . С. 264-267.

Pshchelko N.S. Non-destructive strength testing of anodic bonding conductor-to ionic dielectric seals // Journal of Mining Institute. 2011. Vol. 189 . p. 264-267.

References

Влияние постоянного электрического поля на процессы осаждения тонких металлических пленок платины методом ионно-плазменного распыления / В.П.Афанасьев, Д.А.Чигирев, Н.С.Пщелко, Н.П.Сидорова // Известия вузов России. Радиоэлектроника. СПб, 2010. Вып.6. С.59-65.
Нагорный В.С. Анализ динамики процесса формирования электроадгезионного контакта / В.С.Нагорный, Н.С.Пщелко, Н.П.Сидорова // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. Информатика, телекоммуникации, управление. 2009. № 6. С.166-170.
Пщелко Н.С. Влияние шероховатости поверхностей электроадгезионного контакта на его силовые характеристики / Н.С.Пщелко, Т.В.Стоянова // Цветные металлы. 2008. № 5. С.51-57.
Сетчатые иерархические пористые структуры с электроадгезионными контактами / И.Е.Грачева, С.С.Карпова, В.А.Мошников, Н.С.Пщелко // Известия СПбГЭ- ТУ. СПб, 2010 № 8. С.27-32.

Non-destructive strength testing of anodic bonding conductor-to ionic dielectric seals

Abstract

References

Similar articles