Как известно, вторичная электронная эмиссия характеризуется: 1) коэффициентом вторичной электронной эмиссии; 2) распределением вторичных электронов по энергиям. Энергетический спектр вторичных электронов в основном состоит из двух частей: медленных вторичных электронов с энергиями 0—50 эв; неупруго и упруго рассеянных первичных электронов.