Подать статью
Стать рецензентом
Т. Р. Акчурин
Т. Р. Акчурин
Санкт-Петербургский государственный горный университет
Санкт-Петербургский государственный горный университет

Публикации

Нанотехнологии и информационные технологии
  • Дата отправки
    2011-08-02
  • Дата принятия
    2011-10-19
  • Дата публикации
    2012-02-01

Программное обеспечение для контроля параметров емкостных структур на основе использования силового действия электростатического поля

Читать аннотацию

Рассмотрено программное обеспечение для реализации алгоритма определения параметров капсюля конденсаторной структуры с подвижными обкладками на основе использова- ния силового действия электростатического поля. Предлагаемая методика позволяет по одной операции снятия вольт-фарадной характеристики определять целый комплекс важнейших параметров капсюля – величину рабочего воздушного зазора, прогиб мембраны, электретный поверхностный потенциал и натяжение мембраны. Получены выражения, связывающие емкость капсюля с указанными параметрами. Разработано программное обеспечение для использования методики, позволяющее определять искомые параметры капсюля и оценить их погрешность. Рассмотренный в настоящей работе метод контроля является неразрушающим.

Как цитировать: Акчурин Т.Р., Пщелко Н.С., Буевич В.В. Программное обеспечение для контроля параметров емкостных структур на основе использования силового действия электростатического поля // Записки Горного института. 2012. Т. 196. С. 289.