Рассмотрены некоторые конструкции емкостных сенсоров и активаторов, работа которых основана на использовании электрического поля. Показано, что эти конструкции относительно дешевы в изготовлении, но при этом обладают хорошими техническими характеристиками. Приведено теоретическое обоснование возможности использования электростатических сил для компенсации разности давлений в соответствующем измерительном устройстве. Рассмотрена методика определения параметров капсюля конденсаторной структуры. Методика позволяет по одной операции снятия вольт-фарадной характеристики определять целый комплекс важнейших параметров капсюля: рабочий воздушный зазор, прогиб мембраны, электретный поверхностный потенциал и натяжение мембраны. Зная аналитическое выражение для емкости капсюля в зависимости от указанных параметров и измеряя его вольт-фарадную характеристику, можно, решая соответствующую систему уравнений, определить искомые параметры. Рассмотренная процедура является неразрушающим методом контроля.

Some designs of capacitor sensors and actuators which work is based on electric field use are considered. It is shown that these designs are rather cheap in manufacturing, but thus possess good technical characteristics. The theoretical substantiation of possibility of electrostatic forces use for balancing of a pressure difference in the corresponding measuring device is adduced. Procedure for definition of parameters of a condenser structure cap is considered. The procedure allows by means of one operation – volt-capacitance characteristic measuring – to define the whole complex of the major parameters of a cap-size of a working air gap, a membrane deflection, surface electret potential and a membrane tension. Analytical expression for capacitance of a cap depending on the specified parameters and measuring of its volt-capacitance characteristic allow to define these parameters by solving corresponding system of equations. The procedure considered in the present work is a method of a not-destroying control.