2411-3336 2541-9404 Записки Горного института Journal of Mining Institute Санкт-Петербургский горный университет императрицы Екатерины ΙΙ Empress Catherine II Saint Petersburg Mining University pmi-6537 https://pmi.spmi.ru/pmi/article/view/6537 Фундаментальные исследования в области естественно-научных дисциплин Basic research in natural sciences Non-destructive strength testing of anodic bonding conductor-to ionic dielectric seals Неразрушающий контроль прочности электроадгезионных соединений проводник – ионный диэлектрик Pshchelko N. S. Пщелко Н. С. Pshchelko N. S. nikolsp@mail.ru Санкт-Петербургский государственный горный институт (технический университет) (Россия) Saint Petersburg State Mining Institute (Technical University) (Russia) 21 03 2011 2011 189 264 267 05 07 2010 10 09 2010 21 03 2011 © N. S. Pshchelko 2011 Н. С. Пщелко N. S. Pshchelko CC BY 4.0 https://pmi.spmi.ru/pmi/article/view/6537

Физические процессы, приводящие к появлению больших сил притяжения между те- лами, соединяемыми электроадгезионным способом, связаны с образованием электриче- ских полей больших напряженностей на границе контакта. Неразрушающий способ кон- троля прочности получаемых соединений ионный диэлектрик – проводник основан на взаимосвязи между зависимостью тока от времени, протекающего при формировании со- единения и прочностью получаемого соединения. Теоретически обоснован новый техно- логический прием для получения качественных соединений. Полученные результаты под- тверждаются экспериментально.

Physical processes that lead to the emergence of large forces of attraction between bodies, joined by anodic bonding technology result from the large electric fields strengths at the ontact interface. Nondestructive method of monitoring the strength of obtained conductor-to ionic di- electric anodic bonding seals is based on the relationship between the dependence of current versus time flowing in the formation of seals and the strength of the resulting seals. Theoreti cally justified a new technological method for manufacturing of high-quality anodic bonding seals. The results obtained are confirmed experimentally.

 Влияние постоянного электрического поля на процессы осаждения тонких металлических пленок платины методом ионно-плазменного распыления / В.П.Афанасьев, Д.А.Чигирев, Н.С.Пщелко, Н.П.Сидорова // Известия вузов России. Радиоэлектроника. СПб, 2010. Вып.6. С.59-65. Нагорный В.С. Анализ динамики процесса формирования электроадгезионного контакта / В.С.Нагорный, Н.С.Пщелко, Н.П.Сидорова // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. Информатика, телекоммуникации, управление. 2009. № 6. С.166-170. Пщелко Н.С. Влияние шероховатости поверхностей электроадгезионного контакта на его силовые характеристики / Н.С.Пщелко, Т.В.Стоянова // Цветные металлы. 2008. № 5. С.51-57. Сетчатые иерархические пористые структуры с электроадгезионными контактами / И.Е.Грачева, С.С.Карпова, В.А.Мошников, Н.С.Пщелко // Известия СПбГЭ- ТУ. СПб, 2010 № 8. С.27-32.