2411-3336 2541-9404 Записки Горного института Journal of Mining Institute Санкт-Петербургский горный университет императрицы Екатерины ΙΙ Empress Catherine II Saint Petersburg Mining University pmi-6085 https://pmi.spmi.ru/pmi/article/view/6085 Нанотехнологии и информационные технологии Nanotechnologies and information technologies Discrete distributin of the electric charge influence on power characteristics of electric field in anodic bonding technologies Влияние дискретности распределения заряда на силовые характеристики электрического поля в электроадгезионных технологиях Pshchelko N. S. Пщелко Н. С. Pshchelko N. S. nikolsp@mail.ru Санкт-Петербургский государственный горный университет (Россия) Saint Petersburg State Mining University (Russia) Sidorova N. P. Сидорова Н. П. Sidorova N. P. archie3@mail.ru Санкт-Петербургский государственный горный университет (Россия) Saint Petersburg State Mining University (Russia) Chigirev D. A. Чигирев Д. А. Chigirev D. A. thor1261@mail.ru Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (Россия) Saint Petersburg State University of Electrical Engineering (Russia) 22 05 2012 2012 196 361 367 13 08 2011 12 10 2011 22 05 2012 © 2012 Н. С. Пщелко, Н. П. Сидорова, Д. А. Чигирев © 2012 N. S. Pshchelko, N. P. Sidorova, D. A. Chigirev 2012 Н. С. Пщелко, Н. П. Сидорова, Д. А. Чигирев N. S. Pshchelko, N. P. Sidorova, D. A. Chigirev Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution 4.0 International (CC BY 4.0) This article is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License (CC BY 4.0) https://pmi.spmi.ru/pmi/article/view/6085

В работе разработана физико-математическая модель, позволяющая оценить силовые и энергетические характеристики неоднородного электрического поля в электроадгезионных технологиях. Теоретически обоснован новый технологический прием для получения качественных электропроводящих покрытий на диэлектрических подложках с приложением электростатического поля. Полученные результаты подтверждаются экспериментально.

The physical and mathematical model allowing to estimate force and power characteristics of non-uniform electric field in electroadhesive technologies is developed. The new processing method for making of qualitative conductive covering films on dielectric substrates with electrostatic field use is theoretically proved. The obtained results prove to be true experimentally.

 Ключевые слова электроадгезия электрическое поле проводящие пленки Keywords electric adhesion electric field conductive films. Афанасьев П.В. Технология формирования платиновых электродов для субмикронных конденсаторных структур с сегнетоэлектрическими пленками ЦТС / П.В.Афанасьев, Н.М.Коровкина // Вакуумная техника и технология. 2006. Т.16. Вып.3. С.215-219. Afanasev P.V, Korovkina N.M. Technology for formation of platinum electrodes for submicronic condenser structures with ferroelectric films ZTP // The Vacuum technique and technology. 2006. Vol.16. Is.3. P.215-219. Нагорный В.С. Анализ динамики процесса формирования электроадгезионного контакта / В.С.Нагорный, Н.С.Пщелко, Н.П.Сидорова // Научно-технические ведомости СПбГПУ. Сер. Информатика, телекоммуникации, управление. 2009. № 6. С.166-170. Nagornyj V.S., Pshchelko N.S., Sidorova N.P. The analysis of dynamics of process of formation of electroadhesive contact // Scientific and technical sheets of Saint Petersburg Poletechnical University. Ser. Computer science, telecommunications, management. 2009. N 6. P.166-170. Потапов А.А. Электронный журнал «Исследовано в России». Абсолютный радиус многоэлектронных атомов по данным их полязируемостей. 2005. 541 с. // URL: https://www.zhurnal.ape.relarn.ru Potapov A.A. Electronic magazine «Investigated in Russia». Absolute radius of multielectronic atoms according to thtir polarisation. 2005. 541 p. // URL: https://www.zhurnal.ape.relarn.ru Пщелко Н.С. Использование электрического поля для повышения адгезии электропроводящих пленок к диэлектрическим подложкам при вакуумном нанесении // Вакуумная техника и технология. 2010. № 1. С.31-36. Pshchelko N.S. Use of electric field for increase of adhesion of electrospended films to dielectric substrates at vacuum drawing // The Vacuum technique and technology. 2010. N 1. P.31-36. Пщелко Н.С. Поляризация приповерхностных слоев ионных диэлектриков на границе электроадгезионного контакта с проводником // Цветные металлы. 2005. № 9. С.44-50. Pshchelko N.S. Polarization of surface layers of ionic dielectrics on border of electroadhesive contact to a conductor // Nonferrous metals. 2005. N 9. P.44-50.