В работе представлены теоретические и экспериментальные результаты применения метода столкновительной электронной спектроскопии для анализа состава газовых смесей. Продемонстрированы возможности измерения функции распределения электронов по энергии и найдены характеристические спектры электронов для высоких давлений газа (вплоть до атмосферного). Для определения состава газовой смеси и детектирования примесей создан микроплазменный газоразрядный аналитический сенсор планарной геометрии. В послесвечении, в детекторе, наполненном гелием при высоком давлении, получены энергетические спектры быстрых электронов, образующихся при парных столкновениях метастабильных атомов и ударах второго рода с электронами. Обсуждаются особенности характеристического спектра электронов в зависимости от величины межэлектродного зазора сенсора.

Theoretical consideration of collision electron spectroscopy (CES) for gaseous media analysis and experimental results on CES detector are presented. It is demonstrated that a diffusion path confinement for characteristic electrons provides a possibility to measure electrons energy distribution function and to find characteristic spectra of species at high (up to atmospheric) gas pressure. Simple micro-plasma CES detector of two plane parallel electrode configuration with current-voltage measurement in afterglow of helium glow discharge may be designed to operate at a high gas pressure up to atmospheric one. Experimental electron energy spectra of pair He metastables collisions in dependence of interelectrode gap are discussed.