2411-3336 2541-9404 Записки Горного института Journal of Mining Institute Санкт-Петербургский горный университет императрицы Екатерины ΙΙ Empress Catherine II Saint Petersburg Mining University pmi-6081 https://pmi.spmi.ru/pmi/article/view/6081 Нанотехнологии и информационные технологии Nanotechnologies and information technologies Method of measurement of anisotropic electron velocity distribution function Метод измерения анизотропной функции распределения электронов по скоростям Mustafaev A. S. Мустафаев А. С. Mustafaev A. S. alexmustafaev@yandex.ru Санкт-Петербургский государственный горный университет (Россия) Saint Petersburg State Mining University (Russia) Grabovskiy A. Y. Грабовский А. Ю. Grabovskiy A. Y. schwer@list.ru Санкт-Петербургский государственный горный университет (Россия) Saint Petersburg State Mining University (Russia) 22 05 2012 2012 196 336 341 19 08 2011 04 10 2011 22 05 2012 © A. S. Mustafaev, A. Y. Grabovskiy 2012 А. С. Мустафаев, А. Ю. Грабовский A. S. Mustafaev, A. Y. Grabovskiy CC BY 4.0 https://pmi.spmi.ru/pmi/article/view/6081

Разработан метод локальной диагностики анизотропной плазмы. Представлен математический аппарат метода экспресс-анализа степени анизотропии функции распределения электронов как основной характеристики анизотропной плазмы. Показано, что степень анизотропии плазмы может быть определена только по виду кривой производной зондового тока по потенциалу зонда). Проиллюстрированы возможности метода по восстановлению полной функции распределения электронов.

The method of local anisotropic plasma has been developed. The mathematical apparatus of the method for rapid analysis of the degree of anisotropy electron distribution function, as one of the main characteristics of anisotropic plasma has been proposed. It has been demonstrated that the degree of anisotropy of the plasma can be determined only by the form of the IU curve (the second derivative of probe current to the probe potential). The possibilities of the method in area of reconstruction of the full distribution function have been illustrated.

 Ключевые слова наноэлектроника функция распределения электронов анизотропная плазма степень анизотропии Keywords nanoelectronics electron distribution function anisotropic plasma degree of anisotropy Каган Ю.М. Зондовые методы исследования плазмы / Ю.М.Каган, В.И.Перель // Успехи физических наук. 1963. Т.81. Kagan Y.M. Probe methods of plasma investigations / Y.M.Kagan, V.I.Perel // UFN. 1963. Vol.81. Лапшин В.Ф. Метод плоского одностороннего зонда для диагностики анизотропной плазмы / В.Ф.Лапшин, А.С.Мустафаев // Журнал технической физики. 1989. Т.59. № 2. Lapshin V.F. Method of flat one-sided probe for anisotropic plasma diagnostics / V.F.Lapshin, A.S.Mustafaev // Zh. techn. fiz. 1989. Vol.59. N 2. Федоров В.Л. К вопросу об определении ФРЭ по скоростям в аксиально-симметричной плазме / В.Л.Федоров, А.П.Мезенцев // Журнал технической физики. 1987. Т.57. № 3. Fedorov V.L. About the EVDF measurements in axially-symmetric plasma / V.L.Fedorov, A.P.Mezentsev // Zh. techn. fiz. 1987. Vol.57. N 3. Godyak V.A. Plasma-Surface interaction and processing of materials. Deventer: Kluwer, 1990. Godyak V.A. Plasma-Surface interaction and processing of materials. Deventer: Kluwer, 1990. Demidov V.I., Kolokolov N.B., Kudryavtsev A.A. Probe methods for low-temperature plasma investigation. Moscow, 1996. Demidov V.I., Kolokolov N.B., Kudryavtsev A.A. Probe methods for low-temperature plasma investigation. Moscow, 1996. Pfau S., Tichy M. Low temperature plasmas: fundamentals, technologies and techniques / Ed. by R.Hippler. Berlin, 2008. Pfau S., Tichy M. Low temperature plasmas: fundamentals, technologies and techniques / Ed. by R.Hippler. Berlin, 2008. Lieberman M. Plasma processing for nanoelectronics // 63rd gaseous electronics conference & 7th international conference on reactive plasmas: Contr. Pap., 2010. Paris, France, 2010. Vol.55. N 37. Lieberman M. Plasma processing for nanoelectronics // 63rd gaseous electronics conference & 7th international conference on reactive plasmas: Contr. Pap., 2010. Paris, France, 2010. Vol.55. N 37.