Submit an Article
Become a reviewer

Газочувствительный микросенсор

Authors:
A. S. Mashkov1
Yu. P. Batyrev2
  • 1 — Московский университет леса
  • 2 — Московский университет леса
Date submitted:
2017-03-10
Date published:
2001-05-01

Abstract

Предлагаемый полупроводниковый микросенсорный элемент для непрерывного и оперативного кон­троля состояния газовой среды в качестве основы включает полупроводниковую оксидную пленку, получаемую магнетронным методом на установке УВН-71. Разработанная технология обеспечивает рост пленки до 0,8 мкм с последующей термообработкой при одновременном контроле ее сопротивления. Испытания в лаборатории позволили выявить высокие газовую чувствительность элемента и его быстродействие, а также особенности работы сенсора в статическом и динамическом режимах. Импульсный режим работы сенсора предпочтителен с точки зрения его долговечности и точности измерений.

Go to volume 149

Similar articles

Дистанционный флуориметрический мониторинг нефтяных загрязнений на водной поверхности
2001 V. M. Sidorenko, M. D. Magomedov, P. G. Ogneva
Пиридиниевые катионные полиэлектролиты в процессах разделения дисперсий и очистки сточных вод
2001 I. A. Novakov, A. V. Navrotskii, Zh. N. Malysheva, S. S. Dryabina, F. S. Radchenko, S. S. Radchenko
Разработка физико-химических основ и опытной технологии дезактивации грунтов от загрязнения радионуклидами цезия и стронция
2001 D. E. Chirkst, T. E. Litvinova, O. V. Cheremisina, M. I. Streletskaya, M. V. Ivanova, N. A. Mironenkova