Submit an Article
Become a reviewer

Газочувствительный микросенсор

Authors:
A. S. Mashkov1
Yu. P. Batyrev2
  • 1 — Московский университет леса
  • 2 — Московский университет леса
Date submitted:
2017-03-10
Date published:
2001-05-01

Abstract

Предлагаемый полупроводниковый микросенсорный элемент для непрерывного и оперативного кон­троля состояния газовой среды в качестве основы включает полупроводниковую оксидную пленку, получаемую магнетронным методом на установке УВН-71. Разработанная технология обеспечивает рост пленки до 0,8 мкм с последующей термообработкой при одновременном контроле ее сопротивления. Испытания в лаборатории позволили выявить высокие газовую чувствительность элемента и его быстродействие, а также особенности работы сенсора в статическом и динамическом режимах. Импульсный режим работы сенсора предпочтителен с точки зрения его долговечности и точности измерений.

Go to volume 149

Similar articles

Состояние и перспективы разработки техногенных месторождений цветных и благородных металлов
2001 V. P. Zubov, Yu. L. Minaev
К выбору места заложения противофильтрационной завесы с использованием технических средств скважинной гидромеханизации
2001 I. Yu. Naidenko, E. E. Fomkina
Научно-методологическое обоснование и разработка методик определения содержания многокомпонентных органических соединений в пробах воздуха и воды применительно к задачам экологического мониторинга
2001 N. A. Gosteva, N. V. Mal'tseva, M. Yu. Gosteva, L. V. Panova