ВЫБОР ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЖИМА ФОРМОВАНИЯ МИШЕНЕЙ ИЗ ПОРОШКА TiO2 ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ДЕТАЛЕЙ | Дмитриев | Записки Горного института

ВЫБОР ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЖИМА ФОРМОВАНИЯ МИШЕНЕЙ ИЗ ПОРОШКА TiO2 ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ДЕТАЛЕЙ

А. М. Дмитриев, Н. В. Коробова

Аннотация


Пленочные покрытия на основе диоксида титана для деталей приборостроения с целью уменьшения их сопротивления целесообразно изготавливать из композиций с другими оксидами. Композиции желательно получать на этапе нанесения покрытия методом, в котором используют магнетроны. Сопоставлением конструкций магнетронных установок обоснована рациональность применения установки с одним магнетроном, оснащенным мишенью из композиции порошков на основе титана. Технология нанесения покрытия с использованием одного магнетрона, оснащенного композиционной мишенью, раскрыта на примере нанесения износостойких самосмазывающихся покрытий из композиции Ti+WS2. Для оснащения магнетрона мишенью из порошка TiO2 ставилась задача обеспечения наибольшей равномерности распределения плотности в объеме мишени, а также достижения наибольшего значения этой плотности. В результате описанного в статье исследования технологии горячего формования порошка TiO2 показана эффективность совмещения нагрева порошка с его уплотнением в одну операцию. При выполнении этой операции экспериментально исследована зависимость плотности изготавливаемой мишени от температуры формования, давления, времени выдержки под давлением и размера зерен. Обоснован выбранный термомеханический режим формования мишени из порошка TiO2. Изготовить мишень с наибольшей плотностьюпозволяет следующий режим (в исследованном диапазоне) формования: температура 1300 °С, давление 40 МПа, время выдержки под давлением 20 мин, размер зерна 2,2 мкм.


Ключевые слова


диоксид титана; пленочные покрытия деталей; нанесение в магнетроне; магнетронные мишени композиционные; режимы формования мишеней; исследование

Полный текст:

PDF PDF (English)

Литература


Дамаскин Б.Б. Электрохимия / Б.Б.Дамаскин, О.А.Петрий, Г.А.Цирлина. М.: Химия, 2006. 670 с.

Износостойкость композиционных покрытий для режущего инструмента / М.Ш.Мигранов, А.М.Мигранов, С.М.Мингалеев, С.Р.Шехтман // Вестник МГТУ «Станкин». 2017. № 4(43). С. 38-42.

Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980. 488 с.

Создание на основе переработки титановой стружки наноструктурированных износо-стойких самосмазывающихся покрытий на поверхностях деталей машин и технологического инструмента / А.М.Дмитриев, А.И.Беликов, Н.В.Коробова, Ю.В.Панфилов // Технология легких сплавов. 2010. № 3. С.79-86.

Сотова Е.С. Технология нанесения AG-содержащего покрытия на полимерные изделия медицинского назначения для усиления их антибактериального действия / Е.С.Сотова, С.В.Федоров // Вестник МГТУ «Станкин». 2017. № 4 (43). С. 33-37.

Технология создания наноструктурированных износостойких покрытий с использова-нием отходов титана / А.М.Дмитриев, А.И.Беликов, Н.В.Коробова, Ю.В.Панфилов // Ремонт, восстановление, модернизация. 2010. № 4. С. 30-33.

Федоров С.В. Гидроструйная обработка как способ предварительной подготовки по-верхности твердого сплава перед нанесением износостойкого покрытия / С.В.Федоров, Д.Вайс, Х.Со.Мин // Вестник МГТУ «Станкин». 2017. № 4 (43). С. 48-51.

Collins J.A. Failure of materials in mechanical design. New York: John Wiley & Sons, 1981. P.188-193.

Correlanion between microstructure and mechanical properties of severely deformed metals / J.Gubicza, N.Q.Chinh, J.L.Laʹbaʹr, Z.Hegedus, S.Dobatkin, T.G.Langdon // Journal of Alloys and Compounds. 2009. Vol. 483. № 1-2. P.271-274.

Dmitriev A.M. Expanding of Application of Cold Die Forging by Inducing Active Contact Friction Forces / A.M.Dmitriev, N.V.Korobova // Journal of Friction and Wear. 2013. Vol. 34. P.232-237.

Huang T.-H. Effect of grain size on mechanical revolution of pure titanium and die cavity filling rate in hot squeezing mini spur-gear forming process / T.H.Huang, C.P.Jiang, F.V.Grechnikov // International Journal of Precision Engineering and Manufacturing. 2017. Vol.18. Iss. 10. P.1371-1377.

Johnson W. Rupertʹs glass drops: Residual-stress measurements and calculations and hy-potheses for explaining disintegration fracture / W.Johnson, S.Chandrastrar // Journal of Materials Processing Technology. 1992. Vol. 31. P. 413-440.

Macsarov V.V. Managing the Process of Chip Formation by Preliminary Local Action on the Worcable Surface of the Worcpiece / V.V.Macsarov, J.Olt // Journal of Mechanical Engineering. 2008. № 6. 45 p.

Madissoo M. Testing of the External Tool Holder Equipped with Alternate in its Construc-tion / M.Madissoo, A.Rassner, V.Maksarov, J.Olt // Material Science. 2015. Vol. 21. № 3. P.391-395.

Olt J. Dynamic Simylation of Chip Formation in the Process of Cutting / J.Olt, F.Liyvapuu, M.Madissoo, V.Maksarov // International Journal of Materials & Product Technology. 2016. Vol. 53. № 1. P. 1-14.




DOI: http://dx.doi.org/10.31897/pmi.2018.4.388

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Лицензия Creative Commons
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.