ВЫБОР ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЖИМА ФОРМОВАНИЯ МИШЕНЕЙ ИЗ ПОРОШКА TiO2 ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ ДЕТАЛЕЙ

А. М. Дмитриев, Н. В. Коробова

Аннотация


Пленочные покрытия на основе диоксида титана для деталей приборостроения с целью уменьшения их сопротивления целесообразно изготавливать из композиций с другими оксидами. Композиции желательно получать на этапе нанесения покрытия методом, в котором используют магнетроны. Сопоставлением конструкций магнетронных установок обоснована рациональность применения установки с одним магнетроном, оснащенным мишенью из композиции порошков на основе титана. Технология нанесения покрытия с использованием одного магнетрона, оснащенного композиционной мишенью, раскрыта на примере нанесения износостойких самосмазывающихся покрытий из композиции Ti+WS2. Для оснащения магнетрона мишенью из порошка TiO2 ставилась задача обеспечения наибольшей равномерности распределения плотности в объеме мишени, а также достижения наибольшего значения этой плотности. В результате описанного в статье исследования технологии горячего формования порошка TiO2 показана эффективность совмещения нагрева порошка с его уплотнением в одну операцию. При выполнении этой операции экспериментально исследована зависимость плотности изготавливаемой мишени от температуры формования, давления, времени выдержки под давлением и размера зерен. Обоснован выбранный термомеханический режим формования мишени из порошка TiO2. Изготовить мишень с наибольшей плотностьюпозволяет следующий режим (в исследованном диапазоне) формования: температура 1300 °С, давление 40 МПа, время выдержки под давлением 20 мин, размер зерна 2,2 мкм.


Ключевые слова


диоксид титана; пленочные покрытия деталей; нанесение в магнетроне; магнетронные мишени композиционные; режимы формования мишеней; исследование

Полный текст:

PDF PDF (English)

Литература


Дамаскин Б.Б. Электрохимия / Б.Б.Дамаскин, О.А.Петрий, Г.А.Цирлина. М.: Химия, 2006. 670 с.

Износостойкость композиционных покрытий для режущего инструмента / М.Ш.Мигранов, А.М.Мигранов, С.М.Мингалеев, С.Р.Шехтман // Вестник МГТУ «Станкин». 2017. № 4(43). С. 38-42.

Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980. 488 с.

Создание на основе переработки титановой стружки наноструктурированных износо-стойких самосмазывающихся покрытий на поверхностях деталей машин и технологического инструмента / А.М.Дмитриев, А.И.Беликов, Н.В.Коробова, Ю.В.Панфилов // Технология легких сплавов. 2010. № 3. С.79-86.

Сотова Е.С. Технология нанесения AG-содержащего покрытия на полимерные изделия медицинского назначения для усиления их антибактериального действия / Е.С.Сотова, С.В.Федоров // Вестник МГТУ «Станкин». 2017. № 4 (43). С. 33-37.

Технология создания наноструктурированных износостойких покрытий с использова-нием отходов титана / А.М.Дмитриев, А.И.Беликов, Н.В.Коробова, Ю.В.Панфилов // Ремонт, восстановление, модернизация. 2010. № 4. С. 30-33.

Федоров С.В. Гидроструйная обработка как способ предварительной подготовки по-верхности твердого сплава перед нанесением износостойкого покрытия / С.В.Федоров, Д.Вайс, Х.Со.Мин // Вестник МГТУ «Станкин». 2017. № 4 (43). С. 48-51.

Collins J.A. Failure of materials in mechanical design. New York: John Wiley & Sons, 1981. P.188-193.

Correlanion between microstructure and mechanical properties of severely deformed metals / J.Gubicza, N.Q.Chinh, J.L.Laʹbaʹr, Z.Hegedus, S.Dobatkin, T.G.Langdon // Journal of Alloys and Compounds. 2009. Vol. 483. № 1-2. P.271-274.

Dmitriev A.M. Expanding of Application of Cold Die Forging by Inducing Active Contact Friction Forces / A.M.Dmitriev, N.V.Korobova // Journal of Friction and Wear. 2013. Vol. 34. P.232-237.

Huang T.-H. Effect of grain size on mechanical revolution of pure titanium and die cavity filling rate in hot squeezing mini spur-gear forming process / T.H.Huang, C.P.Jiang, F.V.Grechnikov // International Journal of Precision Engineering and Manufacturing. 2017. Vol.18. Iss. 10. P.1371-1377.

Johnson W. Rupertʹs glass drops: Residual-stress measurements and calculations and hy-potheses for explaining disintegration fracture / W.Johnson, S.Chandrastrar // Journal of Materials Processing Technology. 1992. Vol. 31. P. 413-440.

Macsarov V.V. Managing the Process of Chip Formation by Preliminary Local Action on the Worcable Surface of the Worcpiece / V.V.Macsarov, J.Olt // Journal of Mechanical Engineering. 2008. № 6. 45 p.

Madissoo M. Testing of the External Tool Holder Equipped with Alternate in its Construc-tion / M.Madissoo, A.Rassner, V.Maksarov, J.Olt // Material Science. 2015. Vol. 21. № 3. P.391-395.

Olt J. Dynamic Simylation of Chip Formation in the Process of Cutting / J.Olt, F.Liyvapuu, M.Madissoo, V.Maksarov // International Journal of Materials & Product Technology. 2016. Vol. 53. № 1. P. 1-14.




DOI: http://dx.doi.org/10.31897/pmi.2018.4.388

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Лицензия Creative Commons
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.